一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置

本发明公开了一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置，涉及刻蚀装置技术领域，包括刻蚀机，所述刻蚀机的表面固定安装有固定架，所述固定架的底部固定连通有排污管，所述排污管远离固定架的一端贯穿至刻蚀机的底部，此一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置，通过设置清洗单元，能够在清洗单元的作用下，对浸泡完成的芯片进行清洗，去除表面残余的污染物，提高芯片的刻蚀质量，同时能够对刻蚀完成的芯片进行清理，去除芯片表面残留的光刻胶和其他杂质，从而保证芯片表面的光洁度和质量，通过设置送料单元，能够配合清洗单元对芯片清洗，同时在清洗的过程中，利用施压块对推块挤压，能够将清洗完成的芯片推出，提高芯片的刻蚀效率。