一种半导体度量系统及度量方法

本申请公开了一种半导体度量系统及度量方法，包括：半导体表面图像采集模块、半导体表面图像数据处理模块、半导体表面杂质颗粒检测模块、半导体表面划伤检测模块、半导体表面图像数据特征提取模块及模型分类和判定模块，采用了半导体表面图像采集模块等技术手段，所以有效解决了现有技术中的技术问题，进而实现了在对半导体进行度量检测时，通过采集半导体的图像数据，然后通过模型对图像数据进行分析，从而对半导体进行表面颗粒污染物及划痕的度量检测，保证半导体的质量的效果。