基于双扩散模型的掩模优化方法、系统、设备与存储介质

本发明公开了一种基于双扩散模型的掩模优化方法、系统、设备与存储介质，它们是一一对应的方案，方案中：使用基于双扩散模型的生成模型解决掩模优化问题，利用扩散模型的训练稳定性和扩散模型良好的生成效果，可以杜绝基于生成式对抗网络模型面临的模式坍塌，和训练不稳定的问题，从而保证掩模优化效果，更具体的说，本发明在训练时引入一个光刻引导的损失函数，使得模型不仅能学习掩模风格，还能把握住潜在的物理约束，能够极大地提升掩模生成的整体质量，去噪采样过程中，使用低通滤波器，用于引导采样过程，可以有效地保留关键的位置信息，这对于准确的掩模表示是至关重要的。