光电探测器以及光电探测器的制备方法

本公开芯片探测技术领域，特别涉及一种光电探测器以及光电探测器的制备方法。光电探测器包括：外延层、第一雪崩二极管和第二雪崩二极管、波导隔离层、第一楔形凹槽和第二楔形凹槽；第一条形波导、第二条形波导和环形波导，均形成于波导隔离层远离外延层的一侧；第一条形波导位于环形波导的输入端，第二条形波导位于环形波导的输出端；部分第一条形波导经过第一楔形凹槽，部分第二条形波导经过第二楔形凹槽。本公开的技术方案，可实现环形谐振腔探测器的小型化设置，同时有利于降低设计成本。