摘要
本发明实施例公开了一种具有约瑟夫森结的超导芯片及制备方法,超导芯片包括衬底基板、下电极层、氧化层和上电极层;下电极层位于衬底基板的一侧表面上,下电极层包括一体连接的第一本体部和第一凸起部;氧化层位于第一凸起部远离衬底基板的一侧表面上;上电极层位于氧化层远离衬底基板的一侧表面上,上电极层包括一体连接的第二本体部和第二凸起部,且第二凸起部与氧化层在衬底基板上的正投影至少部分交叠,约瑟夫森结为第一凸起部、氧化层与第二凸起部依次层叠设置的结构。第一凸起部和第二凸起部为梯形形状,通过梯形结构设计,避免常规的窄条带结构,该超导芯片将辐射限制于约瑟夫森结中,减少微波辐射损耗,降低二能级缺陷浓度和缺陷灵敏度。
技术关键词
衬底基板
超导电路结构
超导薄膜
光刻掩膜
上电极
约瑟夫森结
氧化层
电感结构
芯片
层叠
谐振腔
带结构
电容
矩形
微波
损耗
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