一种具有约瑟夫森结的超导芯片及制备方法

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一种具有约瑟夫森结的超导芯片及制备方法
申请号:CN202410962958
申请日期:2024-07-18
公开号:CN118510376B
公开日期:2024-12-20
类型:发明专利
摘要
本发明实施例公开了一种具有约瑟夫森结的超导芯片及制备方法,超导芯片包括衬底基板、下电极层、氧化层和上电极层;下电极层位于衬底基板的一侧表面上,下电极层包括一体连接的第一本体部和第一凸起部;氧化层位于第一凸起部远离衬底基板的一侧表面上;上电极层位于氧化层远离衬底基板的一侧表面上,上电极层包括一体连接的第二本体部和第二凸起部,且第二凸起部与氧化层在衬底基板上的正投影至少部分交叠,约瑟夫森结为第一凸起部、氧化层与第二凸起部依次层叠设置的结构。第一凸起部和第二凸起部为梯形形状,通过梯形结构设计,避免常规的窄条带结构,该超导芯片将辐射限制于约瑟夫森结中,减少微波辐射损耗,降低二能级缺陷浓度和缺陷灵敏度。
技术关键词
衬底基板 超导电路结构 超导薄膜 光刻掩膜 上电极 约瑟夫森结 氧化层 电感结构 芯片 层叠 谐振腔 带结构 电容 矩形 微波 损耗
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