摘要
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管,涉及半导体技术领域,该发光二极管外延片包括衬底,还包括:依次层叠于所述衬底之上的AlN层、缓冲层、三维GaN层、未掺杂GaN层、N型半导体层、应力释放层、多量子阱层、电子阻挡层、P型半导体层;在所述应力释放层与所述多量子阱层之间插入复合插入层,所述复合插入层包括周期性交替层叠设置的AlxGa(1‑x)N层、InyGa(1‑y)N层以及P型掺杂GaN层,其中,x的取值范围为0‑1,y的取值范围为0‑1,本发明能够解决现有技术中传统的LED芯片在热态下发光效率低下的技术问题。
技术关键词
发光二极管外延片
GaN层
多量子阱层
应力释放层
电子阻挡层
半导体层
层叠
周期性
衬底
缓冲层
掺杂剂
压力
芯片
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