二元复配有机缓蚀剂优化方法、装置、设备及介质

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二元复配有机缓蚀剂优化方法、装置、设备及介质
申请号:CN202411006168
申请日期:2024-07-25
公开号:CN118522388B
公开日期:2024-10-11
类型:发明专利
摘要
本申请实施例提供二元复配有机缓蚀剂优化方法、装置、设备及介质,属于材料技术领域。该方法包括:根据一元有机缓蚀剂的第一采集数据及二元复配有机缓蚀剂的第二采集数据进行归一化及降维处理,得到降维后训练数据集;选择对应的预设机器学习模型执行训练、验证和测试,得到候选缓蚀效率预测模型;对第一归一化数据进行降维处理,得到第一降维数据;将第一降维数据输入候选缓蚀效率预测模型,通过设置两个一元有机缓蚀剂的不同配比,对不同配比下的两个一元有机缓蚀剂的缓蚀效率进行预测;确定多个候选二元复配有机缓蚀剂;使用多目标优化算法从多个候选二元复配有机缓蚀剂中获取目标二元复配有机缓蚀剂,提升二元复配缓蚀剂的缓蚀效率。
技术关键词
有机缓蚀剂 数据 机器学习模型 矩阵 特征值 复配缓蚀剂 算法 描述符 模块 训练集 优化装置 分子 处理器 可读存储介质 高通量 格式 存储器 样本
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