摘要
本发明涉及一种使用离子液体作为连接层实现钙钛矿单晶与CMOS芯片集成的方法。该方法以离子液体作为连接层,与钙钛矿单晶形成新的界面层,即通过化学焊接技术实现了大面积卤化物钙钛矿单晶与CMOS基底的强粘合,提高了X射线探测器的灵敏度和稳定性,为基于CMOS的高性能X射线探测器的集成制造提供了一种有效的解决方案。
技术关键词
钙钛矿单晶
离子液体
X射线探测器
卤化物钙钛矿
铵醋酸盐
基底
甲基
甲酸
界面
高性能
粉末
芯片
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