介质材料薄膜应力的确定和评估的方法、装置以及设备

本申请提供了一种介质材料薄膜应力的确定和评估方法、装置、设备及存储介质，其中，该方法包括：对介质材料薄膜进行椭偏测量，得到测量数据色散光谱；基于预先构建的模拟模型，生成模拟数据色散光谱，其中，模拟模型用于表征介质材料薄膜的光学常数；根据测量数据色散光谱和模拟数据的迭代和拟合，提取介质材料薄膜的吸收色散光谱，确定介质材料薄膜光学/吸收禁带宽度；根据介质材料薄膜光学/吸收禁带宽度相对于本征禁带宽度的变化，确定和评估介质材料薄膜的应力。本申请通过介质材料薄膜禁带宽度的变化，确定和评估介质材料薄膜的应力，实现了对介质材料薄膜应力的便捷、快速和批量的确定和评估。