真空机械臂

本申请公开一种真空机械臂，该真空机械臂包括：手臂组件；壳体；用于驱动所述手臂组件动作的驱动组件；其中，所述驱动组件可被操纵沿轴向升降地设置于所述壳体内；所述驱动组件包括固定升降机构、旋转机构；所述固定升降机构包括定子基座、固定设置于所述定子基座上的定子机构、密封隔离筒、伸缩隔离套；所述伸缩隔离套的上端连接所述壳体，下端连接所述定子基座；所述密封隔离筒包括圆柱形筒体以及设置于所述圆柱形筒体下端连接所述定子基座的连接端；所述两个或者更多个定子机构同轴叠放设置在所述圆柱形筒体内。所述固定升降机构还设有主动散热机构；所述主动散热机构包括：泵体以及循环流道；所述泵体驱动所述循环流道内的水冷液循环流动。