摘要
本发明涉及用于钛阳极的金属表面成分检测方法、设备、装置及介质,方法包括确定钛阳极的待检测区域,采集特定数量钛阳极样品,进行清洁处理,将钛阳极样品放置在检测平台上;通过检测设备分别进行光谱检测和结构检测,得到光谱数据和衍射数据,通过影像设备采集钛阳极样品的样品图像数据,将光谱数据、衍射数据和样品图像数据传输到检测模型;进行浓度分析,得到元素成分浓度数据,进行空间分析,得到样品结构数据,进行特征分析,得到表面特性数据;对元素成分浓度数据、样品结构数据和表面特性数据进行分析,得到成分信息,将所有成分信息进行综合分析处理,得到钛阳极的金属表面成分报告。本发明能对钛阳极的表面进行全面且具体深度的检测。
技术关键词
金属表面成分检测
阳极
检测平台
样品图像数据
元素
形貌特征
影像设备
辐射光谱特征
三维形貌参数
控制检测设备
粗糙度
空间分布信息
荧光
表面氧化层厚度
光谱解析算法
指标
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