多尺度高通量电子显微学的材料检测分析系统及方法

本发明涉及材料分析技术领域，公开了一种多尺度高通量电子显微学的材料检测分析系统及方法。利用高通量扫描电子显微镜对宏观材料样品进行阵列扫描，得到多个高通量阵列扫描图像。利用数据处理装置对多个高通量阵列扫描图像进行图像识别得到并标识宏观材料样品的组织物，对多个高通量阵列扫描图像拼接得到的宏观尺度全景图像中标记的组织物相进行分析得到材料宏观尺度信息。透射电子显微镜与扫描透射电子显微镜对以材料宏观尺度信息作为参考从宏观材料样品中提取得到局部材料样品进行拍摄，得到微观尺度图像。基于材料宏观尺度信息和根据微观尺度图像进行分析处理得到的介观至原子尺度信息，得到确定对材料性能产生影响的多尺度材料特性信息。