摘要
本发明公开了一种倒装LED芯片及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:提供外延片;在外延片上形成电流扩展层、第一电极和第二电极;沉积反射层并开孔暴露第一电极和第二电极,分别在第一电极和第二电极上形成第一焊盘和第二焊盘,得到LED芯片;将基板与LED芯片键合;剥离LED芯片的衬底并将第一半导体层减薄;在减薄后的第一半导体层上沉积出光层;在基板上开孔并暴露第一焊盘和第二焊盘,刷锡焊接形成欧姆接触,得到倒装LED芯片。实施本发明,可以大幅提高倒装LED芯片的透光率,从而提高器件的发光亮度。
技术关键词
倒装LED芯片
半导体层
外延片
机械抛光
电极
焊盘
研磨盘
粗糙度
基板
电流扩展层
抛光液
衬底
抛光盘
压力
透光率
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