一种机械臂及其控制方法

本发明提供了一种机械臂，包括夹持组件，所述夹持组件包括三个定位吸嘴、旋转板、转轴、旋转电机、升降座、转盘、三个弧形槽、三个定位柱、三个滑块、三个滑槽和定位电机；三个所述定位吸嘴对称安装于旋转板的上表面中部，所述转轴的一端固定连接于旋转板的一侧。本发明通过关节臂带动夹持组件移动，同时旋转电机带动转轴旋转一百八十度，转轴带动旋转板，进而可以使定位吸嘴远离定位柱，定位吸嘴翻转至外部，通过关节臂带动夹持组件移动，使定位吸嘴与晶圆的一侧贴合，进而可以将晶圆从晶圆盒内取出，在取出晶圆时，不需要将夹持组件插入至晶圆盒内，只需要吸取晶圆的一侧即可取出，进而方便了晶圆的取出动作。