一种半导体芯片老化测试中挥发气体分析系统

本申请公开了一种半导体芯片老化测试中挥发气体分析系统，涉及芯片老化测试技术领域。所述系统包括有芯片驱动模块、温度控制模块、气体检测模块、数据获取模块和数据分析模块，其中，芯片驱动模块用于驱动以使半导体芯片在老化测试过程中处于工作状态，温度控制模块用于控制芯片环境温度维持在老化测试目标温度处，气体检测模块用于检测芯片在老化测试过程中所产生的挥发气体的成分及浓度，数据获取模块用于对检测结果中的挥发气体成分及挥发气体浓度进行时间标记，数据分析模块用于对挥发气体成分时序数据及挥发气体浓度时序数据进行数据分析，得到数据分析结果，如此可对半导体芯片在高温老化时产生的挥发气体进行实时监控，提高生产安全性。