真空泵设备的智能化控制系统及方法

本申请提供了一种真空泵设备的智能化控制系统及方法，涉及真空泵智能控制领域，其通过对多个时间点的待抽真空容器真空度值进行时序分析以得到待抽真空容器真空度差时序变化特征，同时通过对多个时间点的真空泵抽气速率值进行时序特征提取以得到真空泵抽气速率时序特征，接着在同一个特征空间中建立待抽真空容器真空度差时序变化特征和真空泵抽气速率时序特征之间的响应性关系，最后通过分类器以得到抽气速率的调控方向。这样，实现了根据容器内真空度变化的实际情况来调整真空泵的抽气速率，有利于提高真空泵的控制精度，进而更好地完成真空抽取任务。