一种用于窄道的晶圆盒搬运机器人

AITNT
正文
推荐专利
一种用于窄道的晶圆盒搬运机器人
申请号:CN202411063614
申请日期:2024-08-05
公开号:CN118770429A
公开日期:2024-10-15
类型:发明专利
摘要
本申请实施例提供了一种用于窄道的晶圆盒搬运机器人,包括走行小车和驱动装置,驱动装置驱动走行小车在地面行驶,走行小车的上层设置有控制系统,走行小车的下层设置有桥式架构和与缓冲结构,桥式架构对称设置在下层,控制系统与桥式构架之间设置有缓冲垫片;转接板设置在下层,主动轮和第一浮动连杆设在转接板两端,从动轮设在转接板;缓冲框架设在转接板,卡轴设在缓冲框架,弹簧设在中心杆,中心杆与卡轴和连接头连接;驱动装置设置在安装板上与主动轮连接,驱动走行小车在地面移动,且在走行小车移动过程且产生的冲击时,连接头与地面接触使得弹簧产生形变。基于三重缓冲构架,能有效的减少地面变化对其上负载的影响。
技术关键词
晶圆盒 搬运机器人 走行小车 微动传感器 转接板 落座传感器 缓冲结构 安装框架 辅助支撑轮 控制系统 支撑轮组 缓冲垫片 连杆 防震垫块 地面 超声波传感器 激光传感器 定位座
系统为您推荐了相关专利信息
1
晶圆处理装置
抛光组件 清洗剂 抛光液 抛光头 机械抛光
2
一种双层传输自动对接激光导航搬运机器人
搬运机构 底盘行走机构 AGV底盘 搬运机器人 油盘
3
一种立库物料搬运机器人
物料搬运机器人 机架部件 伺服电机编码器 平台部件 减速机
4
基于三维视觉驱动的非标零件多功能加工系统及方法
非标零件 三维视觉传感器 磁吸式搬运装置 分拣托盘 搬运机器人
5
一种机器人运动感知与决策控制方法
搬运机器人 钢管 多模态数据采集 机器人运动路径 构建三维场景
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号