摘要
本申请实施例提供了一种用于窄道的晶圆盒搬运机器人,包括走行小车和驱动装置,驱动装置驱动走行小车在地面行驶,走行小车的上层设置有控制系统,走行小车的下层设置有桥式架构和与缓冲结构,桥式架构对称设置在下层,控制系统与桥式构架之间设置有缓冲垫片;转接板设置在下层,主动轮和第一浮动连杆设在转接板两端,从动轮设在转接板;缓冲框架设在转接板,卡轴设在缓冲框架,弹簧设在中心杆,中心杆与卡轴和连接头连接;驱动装置设置在安装板上与主动轮连接,驱动走行小车在地面移动,且在走行小车移动过程且产生的冲击时,连接头与地面接触使得弹簧产生形变。基于三重缓冲构架,能有效的减少地面变化对其上负载的影响。
技术关键词
晶圆盒
搬运机器人
走行小车
微动传感器
转接板
落座传感器
缓冲结构
安装框架
辅助支撑轮
控制系统
支撑轮组
缓冲垫片
连杆
防震垫块
地面
超声波传感器
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