一种玻璃基板镀膜检测方法及系统

本发明涉及镀膜检测技术领域，具体涉及一种玻璃基板镀膜检测方法及系统。该方法将镀膜玻璃基板分割为局部板块，获取局部板块横截面的SEM图像和局部板块的镀膜厚度测量值；根据每个局部板块与其所在镀膜玻璃基板的其他每个局部板块之间横截面的SEM图像差异，获取每个局部板块的误差程度；根据每个镀膜玻璃基板的每个局部板块的误差程度和镀膜厚度测量值，获取每个镀膜玻璃基板的实际镀膜厚度，对镀膜玻璃基板的镀膜是否合格进行检测。本发明通过获取误差程度准确对每个局部板块的镀膜厚度测量值进行修正，降低了外在因素对镀膜厚度测量值的影响，进而准确获取每个镀膜玻璃基板的实际镀膜厚度，对玻璃基板的镀膜情况进行准确检测。