一种玻璃基板多层膜成膜过程优化方法及系统

本发明涉及镀膜工艺调节技术领域，具体涉及一种玻璃基板多层膜成膜过程优化方法及系统。该方法依据不同玻璃镀膜样本的薄膜折射率的差异、薄膜吸收率的差异和玻璃薄膜样本的薄膜折射率与薄膜吸收率的相关程度，获取薄膜增透指标；依据每个玻璃薄膜样本的薄膜折射率和薄膜吸收率的差异，以及每个玻璃薄膜样本与其余玻璃薄膜样本的薄膜折射率差异和薄膜吸收率差异获取增益影响指标；基于薄膜增透指标与增益影响指标优化玻璃基板多层膜成膜过程。本发明结合薄膜的折射率、吸收率与透过率三者之间的关系获取薄膜增透指标与增益影响指标，利用两者优化玻璃基板成膜过程，保证薄膜的理想厚度且具有优良透过率。