一种高精度快速度的图案晶圆自动对焦系统及方法

本发明公开了一种高精度快速度的图案晶圆自动对焦系统及方法。方法包括：光源出射的光经由准直透镜、分光镜、投影透镜、分光镜以及显微物镜，形成入射照明光路；掩膜被置于准直透镜和投影透镜之间，入射照明光路经掩膜使得待测晶圆上形成光栅状的第一平面成像；晶圆上的第一平面成像再反射，经由显微物镜、分光镜、投影透镜以及分光镜所构成的反射收集光路后，形成第二平面成像被相机所收集；相机收集到光栅状的第二平面成像，经过图像处理算法测得待测晶圆表面的离焦距离。本发明可以准确地探测带图案晶圆表面与大NA物镜间的距离(高度)变化，自动对焦的光学系统简单。