一种芯片键合精确对准互联方法、系统、装置

本发明涉及图像增强技术领域，具体涉及一种芯片键合精确对准互联方法、系统、装置。该方法获取芯片键合的过程图像；根据过程图像中闭合边缘线所构成的闭合区域内灰度值的变化情况、以及闭合区域内与对应闭合边缘线之间的色相差异，获取闭合边缘线的真实程度；根据超像素块内闭合边缘线的明度和饱和度的变化情况、闭合边缘线上边缘像素点的梯度值和空间位置、以及闭合边缘线的真实程度，获取过程图像的去噪干涉程度；根据去噪干涉程度对双边滤波算法进行优化，进而获取去噪过程图像对芯片键合进行对准互联。本发明通过对双边滤波算法进行优化，进而将过程图像进行准确去噪，同时确保键合标记对应边缘信息的完整，确保芯片键合精确对准。