混合集成多波长窄线宽半导体激光器阵列

本发明涉及一种混合集成多波长窄线宽半导体激光器阵列，属于半导体激光器领域。该激光器阵列包括依次连接的增益芯片阵列、调相区、阵列波导光栅和反馈区。所述增益芯片阵列包括至少两个增益芯片，每个增益芯片为一路波长激光提供光学增益。所述调相区用于调节每一路波长激光的相位。所述阵列波导光栅提供选模功能以及分束和合束功能。所述反馈区作为激光器阵列的谐振腔，用于提供光反馈功能。本发明器件集成度高、稳定性好，能够同时实现超窄线宽、较大输出光功率、大面积集成。