一种小尺寸半导体芯片生产用直写光刻机

本发明涉及半导体光刻领域，其公开了一种小尺寸半导体芯片生产用直写光刻机，包括十字滑台机构，十字滑台机构包括导轨与直线模组四，导轨上滑动安装有底座，直线模组四包括下支架，下支架上安装有平行于导轨的丝杆与驱使丝杆旋转的电机，底座的底部设置有与丝杆螺纹连接的螺纹凸耳，丝杆上设置有承托组件，承托组件设置有两组并分别位于螺纹凸耳的两侧，承托组件包括与导轨及丝杆滑动连接的滑座，滑座沿导轨的延伸方向阵列设置有若干个，位于阵列方向头尾的两个滑座分别与下支架、螺纹凸耳固定，相邻两个滑座之间设置有连接部件，连接部件包括呈交叉布置且铰接连接的两个连杆，相邻两组连接部件中的连杆的对应端部铰接连接。