一种多轴调节微力找平调节装置及调节系统

本发明公开了一种多轴调节微力找平调节装置及调节系统，属于微力找平调节装置技术领域，在使用本装置的时候调节平台可以作为放置物件的平台，在平面运动的时候不用调节移动板部，因此移动板部底部则为平面结构适应平面，在移动的时候机械腿部可以作为移动部来进行移动，升降部配合角度调节部实现扩大机械腿部支撑面或者调节机械腿部适应不同的高度，从而对于更换更大的调节平台起到稳定支撑的功能，在光刻机内进行移动的时候，则调节移动板部使其适应光刻机内位置的结构，在移动的时候同样调节移动板部适应移动的结构。