一种倒装芯片埋入式基板结构及其制备方法

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一种倒装芯片埋入式基板结构及其制备方法
申请号:CN202411127845
申请日期:2024-08-16
公开号:CN119008589A
公开日期:2024-11-22
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体封装技术领域,具体为一种倒装芯片埋入式基板结构及其制备方法,第一基材底侧铺设第一铜布线,第一基材顶侧铺设第二铜布线,之后铺设第二基材,在第二基材上铺设第三铜布线,之后铺设第三基材,在第三基材上铺设第四铜布线,在第一铜布线和第四铜布线的外侧铺设涂敷辅助板件,之后再刷上绿油层,埋入式基板结构制作完成;增加基板布线空间,减少封装作业流程;再者本发明通过设置的涂敷辅助板件,在进行涂刷绿油保护层时,通过设置的板体主体、外侧孔、内侧孔以及在内侧孔中设置辅助结构,提高绿油保护层的均匀性,以及尽量避免绿油保护层液渗入到基本中;提高整体基板结构质量。
技术关键词
埋入式基板 倒装芯片 基材 布线 板件 涂敷 半导体封装技术 隔热层 板体 基板结构 槽口位置 球形 内腔 腔体 锥形 涂刷
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