摘要
本发明实施例提供了一种直接键合铜基底、绝缘栅双极晶体管封装模块及制备工艺,直接键合铜基底可以包括:第一覆铜层;陶瓷层,一面与第一覆铜层的一面连接,陶瓷层添加有增韧物质;第二覆铜层,一面与陶瓷层的另一面连接。通过在陶瓷层添加增韧物质来对陶瓷层进行增韧,从而避免绝缘栅双极晶体管封装模块因为陶瓷层开裂而失效的问题。
技术关键词
绝缘栅双极晶体管
封装模块
氮化物陶瓷颗粒
基底
铜框架
纳米氧化铝颗粒
导电铜浆
碳化物陶瓷
双面覆铜
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