一种应用于储存类芯片缺陷检测的方法

本发明涉及一种应用于储存类芯片缺陷检测的方法，用来提高对储存类芯片表面缺陷检测速度和精度。本发明采用Faster‑RCNN网络作为检测网络，将主干网络替换为轻量化网络MobileNetV3，极大地减少了计算量和参数量。此外，在此基础上连接一个BiFPN网络，该网络通过跨尺度连接和加权特征融合来平衡不同尺度特征之间的信息。由于芯片尺寸存在差异，BiFPN网络在处理不同尺寸的芯片方面性能良好，从而在保证计算效率的同时提高特征表示的质量。通过平衡不同尺度特征之间的信息，提高了模型的鲁棒性和检测精度。通过以上改进后的网络模型在检测芯片表面缺陷方面具备优越性，适用于多种场景下的芯片表面检测。