一种电子枪的预检系统及预检方法

本发明公开了一种电子枪的预检系统及预检方法，预检系统包括偏转镜筒、测量镜筒和控制模块；测量镜筒位于偏转镜筒的正下方，二者分别与控制模块电连接；预检时，待检测电子枪镜筒安装于偏转镜筒的正上方，控制模块与电子枪镜筒电连接；控制模块用于控制电子枪发射电子束，以及用于通过偏转镜筒控制电子束在第一方向和第二方向上偏转，以使电子束对第一扫描范围进行逐点扫描；测量筒镜中的电子束收集装置用于采集每个扫描点对应的电流值，控制模块还用于基于该电流值生成灰度图像，并根据灰度图像中亮斑的位置调整电子枪的位置，直至亮斑的中心与图像中心重合。本申请可以提高电镜设备的维修效率，降低维修难度，减少停机时间。