用于晶圆盒的夹具及搬运机器人

本发明涉及夹具技术领域，公开了一种用于晶圆盒的夹具及搬运机器人，夹具包括安装支架、夹爪组件以及驱动组件，夹爪组件包括两个夹爪，驱动组件包括驱动电机和两个驱动块，驱动电机设于安装支架，两个驱动块滑动设于安装支架，各夹爪一一对应连接于各驱动块，驱动电机用于驱动两个驱动块沿相互靠近或者相互背离的方向运动，以使两个夹爪夹取或者放开晶圆盒；其中，两个夹爪相向的一面均设有第一夹持部和第二夹持部，第一夹持部用于夹持晶圆盒的开口朝第一方向时的第一侧壁，第二夹持部用于夹持晶圆盒的开口朝第二方向时的第二侧壁。本发明旨在解决对多种位置状态存放下的晶圆盒进行夹取的技术问题，以提高夹具的适用性。