一种反应腔室温度的控制系统、方法及电子设备

本申请提供一种反应腔室温度的控制系统、方法及电子设备，应用于控制系统技术领域，该控制系统包括：腔内温度检测模块、若干个加热丝温度检测模块、上位机，上位机包括：主控制器、若干个加热丝控制器。各加热丝温度检测模块用于检测各加热丝的温度，各加热丝控制器用于控制各加热丝的工作功率。在反应内腔温度发生变化需要加热丝调整至对应的供热量时，由上位机进行逻辑判断，并生成对应的控制指令至不同的加热丝控制器，由加热丝控制器二次结合对应的加热丝本身的温度，确定具体各加热丝所需调整到的工作功率，基于计算得到的调整工作功率对加热丝的实际工作功率进行调整，使得加热丝功率调整精度更高，减少该加热丝调整滞后性引发的寿命受损。