一种基于元学习的芯片表面缺陷目标检测网络及其训练方法和应用

本发明公开了一种基于元学习的芯片表面缺陷目标检测网络及其训练方法和应用，通过构建支持元学习的芯片表面缺陷目标检测网络，包括依次连接的编码器、解码器、检测头；编码器采用Resnet网络，Resnet网络包括多个Layer，以输出不同大小的特征图；解码器由多个多尺度特征融合模块组成，对特征图进行多尺度特征融合得到用于预测目标位置的预测特征图，检测头能够实现对中心点位置信息和分类信息进行回归预测以及对中心点与目标预测框之间的距离进行回归预测；训练好的芯片表面缺陷目标检测网络结构可用于对芯片表面缺陷进行检测。