基于多滚轮传输的陶瓷基板免翻转的正反面缺陷检测方法

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基于多滚轮传输的陶瓷基板免翻转的正反面缺陷检测方法
申请号:CN202411455530
申请日期:2024-10-18
公开号:CN118980695B
公开日期:2025-02-28
类型:发明专利
摘要
本发明公开了基于多滚轮传输的陶瓷基板免翻转的正反面缺陷检测方法,涉及陶瓷基板表面缺陷检测技术领域,包括以下步骤:获取传输用的滚轮的间距和直径;从滚轮的间隙中选择,设置检测位置;该基于多滚轮传输的陶瓷基板免翻转的正反面缺陷检测方法,通过激光干涉仪分析陶瓷基板的表面高度的变化,及陶瓷基板在多滚轮上移动时的因缺陷处的凸起或凹陷与滚轮接触或离开时,导致的陶瓷基板的上下波动,来确定陶瓷基板由多滚轮运输时其表面的缺陷,以去除分析时陶瓷基板因缺陷处的凸起或凹陷与滚轮接触或离开时,导致的陶瓷基板的上下波动对检测的影响,使得检测适用于多滚轮传输。
技术关键词
缺陷高度 激光干涉仪 测试基板 缺陷检测方法 陶瓷基板表面 曲线 滚轮 数据 三维模型 标签 轨迹 训练深度神经网络 缺陷检测技术 建立关联关系 裂纹缺陷 间距 参数
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