一种晶圆片同心定位装置及定位方法

本发明公开了一种晶圆片同心定位装置及定位方法，同心定位装置包括载片机构、上料机构和采集拟合机构。载片机构包括载片台和转动电机，载片台用于放置晶圆片，转动电机用于驱动所述载片台转动；上料机构设置在所述载片台一侧，包括机械臂，机械臂用于搬运所述晶圆片并放置在所述载片台上；采集拟合机构设置在所述载片台另一侧，包括区域对射传感器和控制器，区域对射传感器用于采集所述晶圆片转动经过检测区域时的光量值，控制器用于拟合所述晶圆片并得出所述晶圆片的圆心位置。通过区域对射传感器、移动机械臂以及旋转载片台进行同心定位，可以在上片部分先对待测试的晶圆片进行初步同心定位，减少晶圆片的校准时间和提高待测产品的效率。