大角度倾斜的反射式叠层衍射成像方法及相关装置

本申请公开了一种大角度倾斜的反射式叠层衍射成像方法及相关装置，涉及叠层衍射成像领域，获取样品在大于20°的预设倾斜角度下的目标区域内不同扫描位置的衍射图像；根据衍射图像，应用sPIE迭代算法进行衍射光场重构，得出样品重建的振幅和相位。本发明放大了样品的旋转角度，实现了大倾斜角度下样品的恢复矫正，相比于现有样品的旋转角度都在20°左右的倾斜式反射式叠层成像，本发明提出了一种大角度倾斜的反射式叠层衍射成像，能够恢复出样品更细节的信息，也能够恢复出样品更加清晰的细节信息，提高样品的相位恢复精度。