一种应用于半导体老化测试的探卡和探针台系统

本发明公开了一种应用于半导体老化测试的探卡和探针台系统，包括PCB夹具、PCB板、垂直针卡和探针台；所述垂直针卡中规则布置安装有若干弹簧探针，所述垂直针卡固定在所述PCB板的下表面，所述PCB板固定在所述PCB夹具的下表面，从而组成三层探卡结构；所述PCB夹具布置安装在所述探针的台面上，并盖住探针台台面上的开口，使所述PCB板和所述垂直针卡密封设置在所述探针台的内腔中，从而组成所述探卡和探针台系统。本发明通过三层探卡结构与探针台配合，可实现多针同时扎针测试工作，可以同时对上百颗Die进行同步老化测试工作，大大提高了半导体芯片的老化测试效率。