微量程流量传感器校准方法及装置

本说明书实施例提供微量程流量传感器校准方法及装置，其中微量程流量传感器校准方法应用于微量程流量传感器校准装置，装置包括气源、稳压控温容器、校准室和参考室，方法包括：对装置进行密封性能测试，确定密封性能测试结果；基于密封性能测试结果，通过气源和稳压控温容器进行压力温度调节，确定压力温度调节结果；基于压力温度调节结果调节校准室和参考室，确定校准环境；其中，校准室和参考室通过阀门联通；基于校准环境通过稳压控温容器、校准室和参考室进行传感器校准，确定校准结果。通过以上步骤实现微量程流量计的精确校准，并且校准装置无活塞等可动部件，可以实现装置的长期可靠运行。