量测数据的叠层显示方法、设备、介质及产品

本申请公开了一种量测数据的叠层显示方法、设备、介质及产品，涉及半导体集成电路技术领域。该量测数据的叠层显示方法包括：获取晶圆的多种量测数据；构建晶圆的基准坐标系；将各量测数据分别转换至基准坐标系中，得到多种基准量测数据；在基准坐标系中绘制每种基准量测数据对应的数据图层；将各数据图层进行叠加，得到晶圆对应的量测叠层图像。本申请提供的量测数据的叠层显示方法，能够简化对良率损失的分析与归因的操作步骤，且有助于根据叠层图像对晶圆的良率损失原因进行自动全面分析，从而能够提高良率损失分析的准确性。