键合设备、键合方法及存储介质

本发明提供了键合设备、方法及存储介质。晶圆吸盘用于吸附待键合的晶圆。键合头至少用于根据键合参数，将待键合件键合到晶圆上。检测头用于在键合头完成键合，并离开对应的键合位置后，检测待键合件在晶圆上的位姿，以确定待键合件的键合误差。控制器被配置为：控制键合头，根据当前的键合参数进行晶圆与第一待键合件的键合；响应于完成第一待键合件的键合，控制键合头离开当前的第一键合位置，以前往之后的第二待键合件的第二键合位置，并控制检测头前往第一键合位置，以确定第一待键合件的第一键合误差；根据第一键合误差，在线调整键合参数，并将其实时反馈到键合头；以及控制键合头，根据在线调整后的键合参数进行晶圆与第二待键合件的键合。