一种基于载物台的平面度校正方法

本发明公开了一种基于载物台的平面度校正方法，在测量显微镜上安装用于观测载物台的全局相机，并在测量显微镜的载物平台上放置标定板，通过全局相机单目标定，得到测量显微镜所处世界坐标系S与相机图像坐标系之间的变换关系；开启线激光，线激光投射在标定板上，采集若干张带激光的标定板图像，基于二次提取算法提取激光条纹中心线；线激光投射在标定板上形成光平面，利用线激光与标定板标定，得到相机图像坐标系中标定板图像平面与光平面之间的变换关系，进一步获取世界坐标系S与光平面之间的变换关系，得到光平面方程；结合测量显微镜Z轴得到高度信息，实现载物台的平面度校正。