摘要
本发明公开了一种实现电磁屏蔽的封装方法及封装结构,应用于半导体封装领域,该方法包括:提供封装预制件;封装预制件包括封装体和至少一颗封装芯片;循环执行在每个封装芯片的侧部的封装体中,均制备沿周向包围封装芯片的子屏蔽层凹槽,并利用电镀工艺在子屏蔽层凹槽中电镀形成子屏蔽层侧墙的步骤,直至完成沿周向包围封装芯片的全部侧部的屏蔽层侧墙的制备,得到电磁屏蔽封装器件。本发明循环执行制备上述子屏蔽层凹槽,利用电镀工艺在该子屏蔽层凹槽中电镀形成子屏蔽层侧墙,直至完成沿周向包围封装芯片的全部侧部的屏蔽层侧墙的制备,能够在屏蔽电磁干扰的同时,降低屏蔽层侧墙的封装尺寸,提高屏蔽层侧墙制备的良品率。
技术关键词
封装芯片
电磁屏蔽封装器件
屏蔽层
封装体
电镀工艺
封装方法
预制件
凹槽
封装件
封装结构
侧部
屏蔽电磁干扰
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