摘要
本发明涉及晶片传送机器人领域,具体涉及一种外转子电机真空蛙手机器人,包括:机械臂,包括同轴设置的第一旋转部和第二旋转部,以及传动连接于第一旋转部和第二旋转部以执行旋转动作和径向伸缩动作的第一手和第二手;旋转驱动装置,包括同轴设置并且自下而上顺序地固定连接的定子安装座、第一定子和第二定子,以及分别可旋转地套接在第一定子和第二定子的外侧的第一转子和第二转子,第一转子通过转子连接座固定连接于第一旋转部,第二转子固定连接于第二旋转部。本发明的实施例使用外转子电机替代传统的机器人的电机,以驱动第一手和第二手执行旋转和径向伸缩的传片动作,从而使机器人的结构更加紧凑。
技术关键词
外转子电机
竖直轴线旋转
定子
旋转驱动装置
安装座
外置散热器
联动机构
迷宫式密封圈
电磁阀
晶片传送机器人
隔离套
升降驱动装置
真空
外置冷却系统
循环泵
换热器
迷宫密封结构
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