摘要
一种TMV fan‑out颗粒及其封装方法和在多芯片封装结构中的应用,TMV fan‑out颗粒包括晶片die、第一重布线层RDL、第二重布线层RDL和塑封通孔TMV和塑封料;晶片的正面连接第一重布线层,晶片的背面连接第二重布线层,在第一重布线层和第二重布线层之间连接多个塑封通孔TMV,各个塑封通孔在晶片的外围,在第一、二重布线层以及晶片和塑封通孔之间的空隙填满塑封料;晶片的正面的焊盘pad通过第一重布线层导通于对应的塑封通孔TMV;第一重布线层的背向晶片一面还连接有焊盘pad,该焊盘pad上有凸块bump;第二重布线层的背向晶片一面有焊盘pad,塑封通孔TMV通过第二重布线层导通到对应焊盘pad。
技术关键词
倒装贴片
封装方法
芯片封装结构
正面
通孔
重构
封装后芯片
重布线
晶圆
基板
载板
键合线
电子级
平铺
层叠
空隙
焊盘
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