摘要
提供了一种三维存储装置。该三维存储装置包括:存储单元阵列,在第一芯片中实现;以及外围电路,在第二芯片和沿竖直方向与第一芯片重叠的第三芯片中实现。外围电路包括:第一外围电路,在第二芯片和第三芯片中实现;第二外围电路,在第二芯片中实现并且包括至少一个高压晶体管;以及第三外围电路,在第三芯片中实现并且包括至少一个低压晶体管。第一外围电路包括:第一子外围电路,在第二芯片中实现并且包括至少一个高压晶体管;以及第二子外围电路,在第三芯片中实现并且包括至少一个低压晶体管。
技术关键词
低压晶体管
元件隔离区域
高压晶体管
芯片
存储单元阵列
电压发生器
三维存储装置
电路
栅极绝缘层
衬底
页缓冲器
锁存器
电极
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