摘要
本公开提供了一种封装结构及其制备方法,该封装结构包括沿第一方向依次堆叠的基底、第一芯片和至少一层堆叠层;每一堆叠层包括转接板结构和至少一个芯片连接结构,至少一个芯片连接结构和转接板结构沿第二方向放置;芯片连接结构包括第二芯片和第一重布线层,第一重布线层靠近芯片连接结构的第一表面;转接板结构包括第二重布线层和至少一个导电柱,第二重布线层靠近转接板结构的第一表面,至少一个导电柱与第二重布线层电连接;第二芯片与第一芯片电连接,且第二重布线层与第一芯片电连接;每一堆叠层还包括靠近堆叠层的第一表面的第三重布线层,至少一个导电柱与第三重布线层电连接。
技术关键词
芯片连接结构
转接板结构
布线
封装结构
导电层
堆叠层
导电柱
介质
基底
晶圆
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