摘要
本发明公开了一种双面镀层的表面处理设备及表面处理方法,涉及芯片技术领域,包括表面处理主箱,所述表面处理主箱设置有第一主槽和第二主槽,所述第一主槽和所述第二主槽之间的隔板设置有开口,所述第一主槽或所述第二主槽设置有压紧模块和驱动结构,所述压紧模块位于所述驱动结构的伸缩端,所述压紧模块用于承载待镀工件,所述驱动结构驱动所述压紧模块运动,使待镀工件封闭所述开口。本发明的双面镀层的表面处理设备及表面处理方法,提升了效率及质量,降低了成本。
技术关键词
待镀工件
驱动结构
镀层
双面
化学镀
水槽
模块
电镀
导向轴
工况
隔板
密封圈
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纯水
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运动
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芯片
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