切割装置以及切割方法

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切割装置以及切割方法
申请号:CN202411525667
申请日期:2024-10-29
公开号:CN119115255A
公开日期:2024-12-13
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种切割装置以及切割方法,切割装置包括:承载台,用于承载基底,所述基底具有多个器件区以及连接相邻所述器件区的切割道区;激光器,用于向所述基底的切割道区发射激光,以切割所述基底;计算单元,用于根据所述器件区和所述切割道区的设计尺寸,计算所有所述切割道区的位置坐标,以得到切割路径坐标;移动单元,用于控制所述承载台沿着所述切割路径坐标移动。本发明的技术方案使得能够切割获得任意形状的异形芯片。
技术关键词
切割方法 切割装置 基底 承载台 衬底 移动单元 激光器 绝缘 介质 多边形 刻蚀工艺 椭圆形 三角形 尺寸 坐标系 频率 芯片
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