基板处理装置以及基板处理方法

本发明可以涉及一种基板处理装置以及基板处理方法，包括：容器更换装置，将在半导体生产过程中产生的回收对象物装载到基准值以上的饱和回收容器更换为空回收容器；以及容器移送装置，从所述容器更换装置接收至少一个所述饱和回收容器而移送至可以废弃所述回收对象物的废弃位置或者临时待机位置。