摘要
本发明涉及半导体封装技术领域,具体为一种基于载板和RDL设计的UMCP封装方式及产品,该封装方式包括以下步骤:S1,在载板上贴片多叠层芯片,然后向上打线,之后塑封;S2,将初步产品的顶部塑封料进行平磨直至露出焊线,之后使用RDL工艺重新布线;S3,在二次产品的RDL布线层基础上贴装FC倒装芯片和NAND芯片,之后打线;S4,塑封三次产品的FC+NAND部分;S5,去掉载板,获得成品产品。本发明采用RDL工艺重新布线改变原先芯片组合贴合方式,避免了Hybrid Bonding混合键合工艺中常规UMCP高叠die造成的高难度键合工艺“瀑布式打线”的困扰。
技术关键词
叠层芯片
倒装芯片
RDL布线层
半导体封装技术
焊线
载板
基础
贴片
环氧树脂
成品
胶膜
玻璃
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