金属互连电容SPICE模型的建模方法

本发明公开了一种金属互连电容SPICE模型的建模方法，包括：步骤一、提供金属互连电容的电容值查询表格。步骤二、提供金属互连电容的常温SPICE模型公式，之后以电容值查询表格中的常温下的电容值为数据点对常温SPICE模型公式的拟合参数进行拟合得到常温SPICE模型。步骤三、提供金属互连电容的温度效应SPICE模型公式，温度效应SPICE模型公式由常温SPICE模型乘以温度效应项得到；之后以电容值查询表格中的各温度下的电容值为数据点对温度效应SPICE模型公式中的温度效应项的拟合参数进行拟合得到温度效应SPICE模型。本发明能实现不同尺寸和类型的金属互连电容在不同温度下的精确建模。