一种晶圆的检测数据分析方法、装置、设备、介质及产品

本申请公开了一种晶圆的检测数据分析方法、装置、设备、介质及产品，应用于芯片制造技术领域。该方法会将包括多个晶粒的检测数据图片进行显示，以便于相关用户在检测数据图片中根据需求划分对应的多个目标区域；以基于各目标区域，对检测数据图片进行数据分析。可见，本技术方案中通过自由划分区域，可实现对实际生产产生的检测数据进行灵活的分类，从而实现精准数据分析的需要。通过用户自由选择，能够使得区域划分更贴近事实情况，便于直观的查看和分析不同分布模式的检测数据，快速追踪和分析晶粒分布，从而给分布不匀或特殊分布模式的数据分析带来了便利，有效判断出检测数据图片内部的晶粒分布规律。